HJT高效电池PECVD非晶硅薄膜设备
产品优势
低成本、大产能
链式静态镀膜设计/镀膜工艺间距可调/镀膜顺序灵活可调
大产能设计，基于166硅片10000片/小时以上产能，兼容156-210硅片，成本更低
RF+RPSC双电源设计，确保镀膜和自清洁互不干扰，各自工作在更佳状态
配套自主设计的高精度自动化传输设备
相关描述
金辰股份与瑞士H2GEMINI公司积极合作，专注研发应用于HJT技术的新型PECVD工艺与设备，通过不断尝试与创新，最终取得了突破性进展，研发生产的HJT太阳能电池PECVD非晶硅薄膜设备具有产能大、成本低等优点。
具备自有知识产权
与瑞士H2GEMINI公司合作联合开发
欧洲团队协助原型机方案验证
