股票代码:603396

产品特点

1.程序控制精确,设备运行稳定

2.自动更换石英舟,提高产能,降低劳动强度

3.机台防腐设计,提高使用寿命和可靠性

4.花篮传动可暂存3个花篮,降低人员劳动强度

5.整机采用SMC,三菱,神视等进口元件

6.采用特制陶瓷吸盘取放片

7.可选方阻检测

8.可选MES和远程诊断

 

技术参数

扩散上下料机

JC.GF004

产能

10000pcs/h5000 load5000 unload

石英舟规格

200/400/600/800/1000 Pitch 4.76mm/2.38mm                        

硅片尺寸

156mm*156mm

上料方式

50/100 Cassette

下料方式

50/100 Cassette

碎片率

0.5%

设备尺寸(长×宽×高)              

L3700*W2700mm*H2100mm

开机率

98%

耗电量

1Ph ,220VAC,50Hz, 8kW, 36A

耗气量

30L/min