股票代码:603396

产品特点

1.程序控制精确,设备运行稳定

2.自动更换石墨舟,提高产能,降低劳动强度

3.机台防腐蚀设计,提高使用寿命和可靠性

4.花篮传动可暂存3个花篮,降低人员劳动强度

5.整机采用SMC,三菱,神视等进口元件

6.采用特制吸盘,stuabile机器人

7.可选色差检测

8.可选MES和远程诊断

 

技术参数

管式PECVD上下料机                    

JC.GF005

产能

8000pcs/h4000 load4000 unload

石墨舟规格

294PC Pitch 13.5mm,(Customizable)

硅片尺寸

156mm*156mm

上料方式

100 Cassettestack /25/50/100 Optional

下料方式

100 Cassettestack/25/50/100 Optional

碎片率

0.3%

设备尺寸(长×宽×高)

L5684*W1840mm*H2135mm

开机率

98%

耗电量

3Ph,380VAC ,2KW,10A,1Ph ,220VAC,50Hz, 12KW, 50A                            

耗气量

30L/min